井式真空爐(又名:坑式真空爐、立式真空爐)
適用工藝: 井式/立式雙工位真空爐真空爐主要用于半導體器件燒結,封焊,太陽能電池片烘干、焊接及金屬化管殼等氣密性封裝,玻璃容器的燒結及各種零件在氫氮保護下進行的工藝,也多用于機械密封的退火工藝。 特點: 采用水冷/氣冷方式進行加熱容器冷卻,降溫速度快;加熱容器小,升溫速度快。特別適用于小批量零部件快速加溫、冷卻后取出,因升溫速度快,無需預熱,設備不用即可關閉,節能省電。 井式真空爐主要技術參數 真空室工位數:1-3位 真空度:5x10-6Pa/4X10-2Pa 工作溫度:0-1320℃ 充氣的最高壓強:0.5Mpa(可控) 不銹鋼內膽:Φ150-Φ350x1300(用戶自定) 儀表精度:±1℃/24h 控溫方式:觸摸屏自動控制/三點三段采用進口日本高可靠控溫器 控溫曲線:9段升降溫/999小時 工作方式:自動或手動自由轉換 正壓、負壓均采用數字顯示表/電阻式壓力傳感器 多工位交替/同時工作,加壓臺可以自動升降(選) 人機界面:觸摸屏/工控機
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