太陽能電池擴散爐|光伏硅片擴散爐
產品介紹：
太陽能電池擴散爐主要滿足光伏電池生產線對125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐以及第三代軟著陸擴散爐。
技術指標：
可處理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式：臥式1—4管結構
載片量：400片／管
擴散方式：閉管擴散、軟著陸全封閉
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±1℃
單點溫度穩定性、重復性： ≤±1℃／24h
溫度控制：5段控溫
總功率：120KwA
送片裝置：懸臂推拉舟，碳化硅槳最大載重17kg
氣路系統：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：進口MFC
控制方式：工控機、觸摸屏
加工周期：60日
Thinnerwafers：180Um
Break rate：0.8％
方阻均勻度范圍：片內±3％，片間±3％，批間±5％
友情提示：以上產品均為非標類產品，均可根據客戶要求進行定制，因每家要求各不相同，
因此產品只以一張圖片舉例，并未全部列出。本公司兼營進口設備仿制業務，歡迎來電垂詢。
看同類產品☜MASGEL☞到產品大廳 |
在線服務:點擊QQ號碼左側對應的“
”圖標即可與之聯系.