雙工位真空燒結爐
適用工藝：
雙工位真空燒結爐主要應用于電力半導體器件,燒結,焊接等工藝。
設備參數
真空室工位數：1-3位
真空度：1x10-3Pa，加擴散泵為5x10-6Pa
工作溫度：（加熱容器）高溫不銹鋼管0-1000℃/石英管0-1300℃
充氣的最高壓強：0.5Mpa（可控）
加熱容器口徑：Φ150-Φ350x1300 不銹鋼管/石英管
橫溫區：600-1200mm，±1℃/24h
控溫方式：三點三段采用進口日本高精度控溫器
控溫曲線：9段升降溫/999小時
工作方式：自動或手動自由轉換
正壓、負壓均采用數字顯示表/電阻式壓力傳感器
雙工位交替工作，行走X、Y方向
人機界面：觸摸屏/工控機
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