三工位真空燒結爐
適用工藝：
三工位真空燒結爐主要應用于電力半導體器件,燒結,焊接等工藝
設備參數
加熱容器口徑：≤Φ350mm，不銹鋼管/石英管
工作方式：共用一套加熱體，A、B、C管交替工作
工作溫度：（加熱容器）高溫不銹鋼管0-1000℃/石英管0-1300℃
恒溫區：300-1000mm，±2℃ /24h
真空極限：5Χ10-4Pa /4Χ10-2Pa
真空系統：機械泵/機械泵+K300擴散泵
閥門：Φ300氣動擋板閥為主閥和進口電磁閥
額定功率：47KW
真空計：電阻式壓力傳感器/復合式數字真空計
充氣種類：N2、Ar、H2
工作方式：自動或手動自由轉換
正壓、負壓均采用數字顯示表/電阻式壓力傳感器
三工位交替工作，行走X、Y方向
人機界面：觸摸屏/工控機
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