 
合金爐|LED合金爐
適用工藝：
LED合金爐主要滿足LED芯片制造行業，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。
主要性能指標：
外型形式：臥式1—4管結構，水平爐管
工作溫度：200℃—1100℃
恒溫區長度：≥600mm
硅片規格：適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內)
單點溫度穩定性、重復性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內)
溫度過沖平衡：載料進爐，溫度平衡到工藝時間，低于10分鐘。
工藝氣體及控制：氮氣、氧氣。MFC或浮子流量計控制
氣路系統氣密性：1×10—7PaM3/s
送料機構：懸臂石英桿載料，手動
報警系統：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
控制方式：工控機總程控制、觸摸屏控制
設備特點：
快速熱恢復性
設計有預熱區
具有可編程的升、降溫功能
采用濾波器、屏蔽板等裝置，有效解決電網、磁場的干擾
自動運行中可暫停／繼續運行功能
智能升降溫斜率控制功能
PlD參數自整定功能，可存儲多組PlD參數供系統運行調用功能
系統故障的檢測與報警功能、系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)
具有停電后斷點繼續運行功能
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